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JZJLG型螺桿真空泵產品簡介

JZJLG型真空機組是以ZJ型或ZJP型羅茨真空泵為主泵或中間泵，以VPS螺桿真空泵為前級泵的成套高真空獲得設備，其結構緊湊，操作方便。機組除了主泵及前級泵或中間泵外，還包括連接管道、不銹鋼波紋管、電接點壓力表和電氣控制箱等附件。一般羅茨真空泵和螺桿真空泵安裝在同一機架上（大型機組除外），具體見“機組外形尺寸”部分。

JZJLG型螺桿真空泵產品說明

目前機組上采用的羅茨泵為普通ZJ型或ZJP型羅茨泵，由于ZJ型或ZJP型羅茨泵必須在真空系統被前級泵抽到羅茨泵的允許起動壓力后才可起動羅茨泵工作。因此，一般在機組進氣口處須安裝電接點壓力表，通過電接點壓力表可控制羅茨泵的啟動和停機。即當前級VPS螺桿泵起動后開始對系統進行預抽,當系統壓力（即羅茨泵進氣口處壓力）達到允許羅茨泵啟動的設定壓力（即電接點壓力表綠針所指壓力值）時，羅茨泵就可起動工作。如果在機組各泵已處于正常工作情況下，由于發生特殊情況當羅茨泵進氣口壓力高于電接點壓力表上綠針所指值時，羅茨泵立即會自動停機，這樣就可實現羅茨泵的自動過載保護，從而可以避免機組出現過載和過熱而導致機組發生故障。

干式螺桿真空泵由于其*的性能，在歐美和日本已經成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業真空獲得設備，日本在螺桿壓縮機基礎上，很早就研發出了真空泵的多頭轉子型線，并投入市場。德國幾家真空設備公司也逐步的開發出了等螺距、變螺距轉子型線，并在轉子和機體冷卻方面做了很多研究。中國企業在2008年也將螺桿真空泵的生產進入批量化生產，在化工制藥等行業得到很好的應用。

JZJLG型機組配套形式及主要技術性能指標

注:1，機組的極限壓力是指用麥氏真空計測得的空氣分壓力值,用熱偶真空計測得的全壓力值應比極限壓力小半個到一個數量級。

2，機組的zui大抽氣速率是指在機組主泵的入口壓力在約1～100 pa工作條件下測得的實際抽速。